真空泵分前级泵和主泵

主泵和前级泵的配合一般是真空机组.
前级泵可以理解为机械泵.本身可以使用,但抽气速率或者真空度满足不了使用要求,这种情况下我们加一个增压泵.
主泵可以理解为增压泵,用来提高机械泵的真空度跟抽气量.像罗茨泵,扩散泵,分子泵等.这些本身不能使用（压差太大）所以需要机械泵预抽,将真空室内抽成粗真空,然后主泵开始工作.
运行过程中主要的抽气量 极限真空度是靠主泵来实现.所以我们叫它为主泵,起主要作用的泵.
前级泵就是在主泵运行之前需要提前开的泵,就叫前级泵,主泵之前的泵.辅助主泵运行的泵.请关注中国泵业产业网。